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  2. Plateformes technologiques
  3. NANOLYON

NANOLYON

Une plateforme de développement technologique pour l'élaboration et la caractérisation micro- et nanométriques des matériaux jusqu'aux systèmes.

Domaines

La plateforme permet de développer les micro-nanotechnologies en combinant les savoir-faire des communautés Ingénierie et les forces existantes en Chimie, Biologie, Médecine, Matériaux et Physique.

  • 1300 m² d’espaces technologiques dont 600 m² de salles blanches
  • Une équipe technique de 20 techniciens, assistants-ingénieurs et ingénieurs
  • Un parc technologique de 10 M€ dédié à l’élaboration des matériaux, la fabrication des dispositifs et la caractérisation

 

 

  • Savoir-faire
  • Moyens techniques
  • Secteurs d'activité
  • Exemples d'application
  • Procédés standards : semiconducteurs (III-V, Silicon), dépôts de couches, contacts métalliques, lithographie, gravure, recuits...
  • Procédés spécifiques : croissance épitaxiale III-V/Si/Oxydes, Si/SiC poreux, Photovoltaïque, Photonique, Nanoélectronique, Microsystèmes, Microfluidique, Polymères, BioSystèmes, Chimie et Bioingéniérie
  • Du matériau au dispositif intégré : du petit échantillon (cm²) à la plaque (100 mm en routine – jusqu’à 200 mm sur certains équipements)

La plateforme est dotée d’une large gamme d’équipements génériques et spécifiques, dédiés aux micro-nanotechnologies.
Ces moyens d’élaboration et de fabrication sont complétés par des moyens de (nano)caractérisation.

  • Croissance
  • Lithographie
  • Dépôt
  • Gravure, Micro-usinage
  • Métrologie, Caractérisations optiques et électriques
  • Back-end
  • Biotechnologies

 

 

  • Electronique
  • Biotechnologies
  • Photonique

La plateforme technologique est une structure « ouverte » aux prestations ou collaborations extérieures (académiques et industrielles) pour les acteurs de la recherche désirant :

  • réaliser ponctuellement des opérations technologiques standards (dépôt, gravure, lithographie)
  • développer un projet de recherche en collaboration (expertise, savoir-faire, accès à des moyens spécifiques)
En savoir plus
http://inl.cnrs.fr/fr/nanolyon

Contact

Jean-Louis LECLERC

Coordonnées

e-mail : jean-louis.leclercqABCD1234@ec-lyon.fr
Tél. : +33 (0)4 72 18 65 63 ou +33 (0)472 43 74 61

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