NANOLYON

Une plateforme de développement technologique pour l'élaboration et la caractérisation micro- et nanométriques des matériaux jusqu'aux systèmes.

Domaines

La plateforme permet de développer les micro-nanotechnologies en combinant les savoir-faire des communautés Ingénierie et les forces existantes en Chimie, Biologie, Médecine, Matériaux et Physique.

1300 m² d’espaces technologiques dont 600 m² de salles blanches
Une équipe technique de 20 techniciens, assistants-ingénieurs et ingénieurs
Un parc technologique de 10 M€ dédié à l’élaboration des matériaux, la fabrication des dispositifs et la caractérisation

Procédés standards : semiconducteurs (III-V, Silicon), dépôts de couches, contacts métalliques, lithographie, gravure, recuits...
Procédés spécifiques : croissance épitaxiale III-V/Si/Oxydes, Si/SiC poreux, Photovoltaïque, Photonique, Nanoélectronique, Microsystèmes, Microfluidique, Polymères, BioSystèmes, Chimie et Bioingéniérie
Du matériau au dispositif intégré : du petit échantillon (cm²) à la plaque (100 mm en routine – jusqu’à 200 mm sur certains équipements)

La plateforme est dotée d’une large gamme d’équipements génériques et spécifiques, dédiés aux micro-nanotechnologies.
Ces moyens d’élaboration et de fabrication sont complétés par des moyens de (nano)caractérisation.

Croissance
Lithographie
Dépôt
Gravure, Micro-usinage
Métrologie, Caractérisations optiques et électriques
Back-end
Biotechnologies

Electronique
Biotechnologies
Photonique

La plateforme technologique est une structure « ouverte » aux prestations ou collaborations extérieures (académiques et industrielles) pour les acteurs de la recherche désirant :

réaliser ponctuellement des opérations technologiques standards (dépôt, gravure, lithographie)
développer un projet de recherche en collaboration (expertise, savoir-faire, accès à des moyens spécifiques)

http://inl.cnrs.fr/fr/nanolyon

Recherche & Développement

Recherche
& Développement